1. 目的：為規范潔凈區塵埃粒子檢測標準操作規程。

2. 范圍：適用于潔凈區塵埃粒子檢測的操作。
3. 責任：QA潔凈度監測人員。
4. 程序：
4.1概述：潔凈區懸浮粒子監測采用計數濃度法，既通過測定潔凈區環境內單位體積空氣中
含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數，來評定潔凈室（或潔凈區）的懸浮粒子潔凈度等級。
4.2儀器：Y09-9型激光塵埃粒子計數器。
4.3監測原理：空氣中懸浮粒子在光的照射下產生光散射現象，散射光的強度與粒子的表面
積成正比。
4.4.1 測試規則
4.4.1.1 潔凈室（區）的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應（溫度控制在18℃～
26℃，相對濕度控制在45%～65%之間為宜）。
4.4.1.2 壓差：空氣潔凈度不同的潔凈室（潔凈區）之間的壓差應≤5 Pa ，空氣潔凈度級別要求高的潔凈室（潔凈區）對相鄰的空氣潔凈度級別低的潔凈室（潔凈區）一般呈相對正壓。
4.4.2   測試狀態
4.4.2.1  靜態測試和動態測試
靜態測試時，室內測試人員不得多于2人。測試報告見廠房潔凈度懸浮粒子監測記錄表。
動態測試指潔凈室已處于正常狀態下的測試。
4.4.3 測試時間
測試應在凈化空氣調節系統正常運行時間不少于30min后開始。
4.4.4 懸浮粒子計數
4.4.4.1 采樣點數目及其布置
最少采樣點數目，懸浮粒子潔凈度測試的最少采樣點數目見下表1。
表 1    最少采樣點數目

面積S m2	潔 凈 度 級 別
	100	100000	300000
S＜10	2～3	2	2
10≤S＜20	4	2	2
20≤S＜40	8	2	2
40≤S＜100	16	2	2
100≤S＜200	40	3	3
注：表中的面積，對于單向流潔凈室，指的是送風面積；對非單向流潔凈室，指的是房間面積。

 
4.4.4.1.1 采樣點的位置
a) 采樣點一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。  
b) 采樣點多于5點時，也可以在離地面0.8m—1.5m高度的區域內分層布置，但每層不少
于5點。  
c) 采樣點的布置還可根據需要在生產及工藝關鍵操作區增加采樣點。
4.4.4.2 對任何小潔凈室或局部空氣凈化區域，采樣點的數目不得少于2個，總采樣次數不
得少于5次。每個采樣點的采樣次數可以多于1次，且不同采樣點的采樣次數可以不同。
4.4.4.3 采樣量：不同潔凈度級別每次最小的采樣量見表2。
表2    每次最小采樣量

潔凈度級別	采樣量，L/次
	≥0.5μm	≥5μm
100	5.66	----
10000	2.83	8.5
100000	2.83	8.5
300000	2.83	8.5

4.4.4.4 采樣注意事項：
a) 采樣管口宜向上。
b) 布置采樣點時，應避開回風口。
c) 采樣時，測試人員應在采樣口的下風側。
4.5.1 結果計算
  懸浮粒子濃度的采樣數據應按下述步驟作統計計算：
4.5.1.1 采樣點的粒子濃度
         
  式中：C1———某一采樣點的粒子濃度，粒/m3；
        C0———某一采樣點的粒子濃度（儀器讀數），粒/L；
4.5.1.2 采樣點的平均粒子濃度

   式中：A———某一采樣點的平均粒子濃度，粒/m3；
         Ci———某一采樣點的粒子濃度（i=1，2，…，n），粒/m3；
         N———某一采樣點上的采樣次數，次。