無塵車間(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵車間，污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面，無塵車間被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
特點：
1、組裝式結構設計，安裝方便，大大縮短了交貨周期；
2、模塊化結構，提高凈化級別容易，擴展性強，且重復利用價值高；
3、相對傳統(tǒng)無塵室，成本低、施工 快、且對樓層高度低不限。
工程施工規(guī)劃
動線規(guī)劃要點：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學藥品、材料等動線勿集中；無塵車間四周，宜設緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對作業(yè)產生大影響。
有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環(huán)使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；放射性藥品生產區(qū)；病原體操作區(qū)；工藝過程中產生大量有害物質、揮發(fā)性氣體的生產工序；固體口服制劑的顆料。
控管項目
主要有：能除去空氣中飄游之微塵粒子；能防止微塵粒子之產生；溫度和濕度之控制；壓力之調節(jié)；有害氣體之排除；結構物與隔間之氣密性；靜電之防制；電磁干擾預防；安全因素之考慮；節(jié)能之考量；照度的的調節(jié)。
無塵車間結構
無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：
1、天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
2、空調系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
3、隔墻板（Partitional wall)：包括窗戶、門。
4、地板：包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
5、照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
6、無塵室之建筑主體構造：一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
按無塵室用途分類
1、工業(yè)無塵室
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業(yè)。
2、生物無塵室
主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為；
A、一般生物無塵室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業(yè)無塵室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、生物學安全無塵室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。
如何做好無塵車間的管理維護
潔凈技術在近20年發(fā)展迅速，各種規(guī)模、不同等級的無塵室在電子、精密機械、航天、醫(yī)療、食品、化妝品、生物制藥等行業(yè)發(fā)揮著日益重要的作用，為提高產品質量、開發(fā)高新產品做出了重要貢獻。無塵室如果設計是正確、合理的，施工建造是高質量的，但在運行維護管理中不科學、不嚴格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降，造成實際生產環(huán)境中的多項指標偏離規(guī)定要求，從而產品質量下降，甚至不合格。
無塵室人員管理，制定專職管理人員的職責、無塵室人員的準入制度、人員培訓教育規(guī)定、進入無塵室人員的“人凈程序”管理。物流管理，物料進入、各類設備進入，以及相關設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入室內。潔凈度管理，包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理，對于無塵室內的各種設備和設施的清掃滅菌方法，周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、消除無塵室內塵粒、微生物的產生、滯留及繁殖。嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規(guī)程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括凈化空調系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產工藝設備和器具等，以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度級別。
監(jiān)控無塵室在使用過程中正常的運行和維護，應對室內的運行狀況及相關設施進行定期檢查。如：在規(guī)定的時間、地點，用粒子計數(shù)器測定控制粒徑的微粒數(shù)；在規(guī)定時間、地點測定沉降菌落數(shù)或浮游菌數(shù)等；溫濕度方面，在規(guī)定的時間、地點測定和核對連續(xù)測定記錄；測量凈化空調系統(tǒng)的高效過濾器的壓差，檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況，使用風速計檢查局部排風裝置的風量；使用噪聲測定儀在規(guī)定的時間、地點測定噪聲值；檢查送風機軸承、送風機的運行狀態(tài)、塵埃和污物，以及送、回風管道內部和送風口的腐蝕及污垢等情況；無塵室內是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或腐蝕；涂敷狀態(tài)、機械和設備類有沒有異常現(xiàn)象等，必須逐個列表檢查，不能遺漏任何一項；使用照度表在規(guī)定的時間、地點測定照度值；使用壓差表測定無塵室內外的靜壓差。